日前，在2017中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)年會(huì)暨第六屆集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新大會(huì)上，我公司產(chǎn)品“高純鋁蝕刻液” 被評(píng)為“第十一屆(2016年度)中國(guó)半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)項(xiàng)目”之殊榮。截止目前，我公司產(chǎn)品共有4個(gè)已獲得該類別榮譽(yù)。
“高純鋁蝕刻液”屬于半導(dǎo)體行業(yè)專用材料，可應(yīng)用于半導(dǎo)體元件中電子部件的配線形成，起蝕刻作用，可有效解決蝕刻液在蝕刻鋁材料過(guò)程中對(duì)蝕刻速率、難以控制蝕刻角度和不同金屬層的蝕刻量而造成的配線短路、短路等問(wèn)題。
目前該產(chǎn)品技術(shù)已獲授權(quán)發(fā)明專利1件、實(shí)用新型專利1件。公司作為第一起草單位，以該項(xiàng)目產(chǎn)品為基礎(chǔ)起草制定了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)兩項(xiàng)《集成電路用鋁腐蝕液》和《液晶顯示器用鋁腐蝕液》。該產(chǎn)品技術(shù)水平已達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)了該領(lǐng)域國(guó)內(nèi)空白，打破了國(guó)外技術(shù)的壟斷，對(duì)我國(guó)在微電子行業(yè)電子化學(xué)品的加工生產(chǎn)技術(shù)起到了示范作用。產(chǎn)品可替代進(jìn)口，降低生產(chǎn)成本，具有顯著的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。該產(chǎn)品自面市以來(lái)一直倍受江陰長(zhǎng)電先進(jìn)封裝有限公司、杭州士蘭集成電路有限公司等客戶的一致青睞。